制造商 |
Taylor hobson(英國) |
型號 |
Talyrond 385 |
測量范圍 |
直徑范圍450mm以內 |
大允許誤差MPE/測量不確定度U |
主軸MPE:±0.02 μm |
應用 |
圓度和圓柱形幾何形狀的高精度測量 |
裝置特點 |
精度高,穩定性好,能實現全自動調心調平 |
Talyrond 385/365 是全自動化的圓度/圓柱度的精密測量儀,具有亞微米級的測量精度和可靠性。該系統有6套不同的裝置以供用戶選擇,幾乎適用于各種尺寸及自動化的實際測量。先進電子技術的采用使得所有儀器軸得到精密而快速的自動化控制,并且由于針對測量速度與移動速度的綜合考慮致使此儀器可進行高難度測量。泰勒霍普森的橫臂方位裝置能使觸針以各種不同的方式接觸工件。從而使Talyrond 385成為實用的多功能工業圓度儀。Talyrond 385與365基本相同;Talyrond 395適用于測量精度達到納米級的工件,它的主軸采用*精密氣浮軸承,精度達到±0.01μm,測頭分辨率達到1.2nm。Talyrond 440/450為重載圓柱度儀。
Talyrond 圓度儀/圓柱度儀技術特點:
? 全自動控制的機械式橫臂定位/導向
? 自動標定傳感器
? 具有跟蹤方式的自動調心與調平
? 高精密氣體軸承主軸精度達+/- 0.02um
? 儀器傳感器分辨率達1.2nm
? 300mm,500mm 和 900mm 的立柱
自動校準:可以在少于10秒的時間里完成對Talymin 5測頭的校準;
自動調心和調平:在調心的過程中,主軸連續轉動。這中“動態平衡”是一種很好的計量方法,并且可以加快調心過程;默認的調節后偏心量小于0.8μm,可以保證不同的操作者的一致性和重復性;
自動跟從模式:當測量時的誤差值超出測頭的測量量程時,Talyrond 365的橫臂和立柱能夠自動地根據被測工件的偏心量和大致輪廓進行移動,這樣就不必再進行手動調心,并且減少了昂貴的工件夾具的使用;
橫臂軸和立柱軸:Talyrond 365采用了精密玻璃光柵尺和*級的電氣定位控制系統,在橫臂軸和立柱軸兩個方向都可以進行高精密直線度測量。采樣點數可以達到200000,分辨率可以達到0.25μm;
Talymin 5測頭:量程大值可以達到+/-1mm,小分辨率為0.0012μm,限位保護,超微力控制結構;
測頭定位結構:無論測頭的方向如何,測頭端部球的中心都是恒定不變的;3D柱體顯示;
高精密氣浮主軸:徑向跳到誤差小于0.02μm、錐度值小于0.003μm/mm、利用玻璃編碼器進行采樣,點數可以達到18000點;
Talyrond 365的測量部件都是由Ultra軟件控制的,它是一款具有Windows操作界面的軟件,分析功能有圓度、圓柱度、立柱方向的直線度、橫臂方向的直線度、平行度、平面度(單平面或多平面)、垂直度、同心度和偏心度、同軸度、諧波分析、公差計算、柱體顯示、非全圓的圓度、非全圓的平面度;
分析功能 | |
標準軟件 |
圓度圓柱度同心度偏心量垂直方向的直線度水平方向的直線度垂直度同軸度全跳到圓跳動非全圓的圓度非全圓的平面度 諧波分析傾斜度平面度平行度柱體顯示對平面的平面度DFTPDFTC徑向直線度 |
可選軟件功能 |
柱體3D顯示換向器分析速度分析 RTA分析活塞測量光盤厚度測量壁厚測量槽分析 |
濾波器 |
相位糾偏2CR和高斯濾波器,濾波頻率可選擇范圍為1-1500UPR |
測量范圍 | 立柱300mm | 立柱500mm | 立柱900mm |
可測工件的大直徑 |
φ400mm(可以擴展到500mm) |
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可測工件的大高度 | 300mm | 500mm | 900mm |
可測工件孔的大深度 | 160mm | ||
可以測量的大直徑 | φ350(可擴展到450mm) | ||
工件的大重量 |
自動調心調平:75kg;手動調心調平:20kg |
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工作臺的大承載 | 自動調心調平:1250kg/mm,手動調心調平:120kg/mm | ||
測量儀尺寸 | 立柱300mm | 立柱500mm | 立柱900mm |
儀器寬度 | 870mm | ||
儀器厚度 | 705mm | ||
儀器高度 | 1460mm | 1660mm | 2260mm |
工作臺的高度 | 890 | ||
儀器的操作空間尺寸 | 900mmX850mmX750mm | ||
推薦儀器安裝的所需面積 | 1000mmx800mm+工作站 | ||
儀器的公稱重量 | 276kg | 286kg | 299kg |
立柱 | 300mm立柱 | 500mm立柱 | 900mm立柱 | |
(1)立柱行程: | 300mm | 500mm | 900mm | |
(2)全程直線度誤差: | 0.3μm/300mm | 0.3μm/500mm | 1.0um/900mm | |
(3)任意100mm直線度誤差 | 0.15um/100mm | 0.15μm/100mm | 0.3μm/100mm | |
(4)立柱對主軸的平行度: | 0.5μm/300mm | 1μm/500mm | 2μm/900mm | |
(5)位置控制: | ±5μm | ±5um | ±10μm | |
(6)移動速度: | 0.25-20mm/秒(移動和測量) , 0.5-5mm/秒(接觸) | |||
(7)長度測量: | 0.03μm/mm + 1.5μm | |||
(8)位定位分辨率: | 0.25μm | |||
(9)采樣數據點: | *多20000可選) |
主軸 | |
主軸結構 | 超精密氣浮軸承 |
轉速 | 0.6,1,2,6,10rpm,雙向 |
徑向誤差(工作臺面以上) | ±(0.02μm+0.0003μm/mm) |
軸向誤差 | ± (0.02μm+0.0003μm/mm) |
相位控制 | ±0.28 |
相位分辨率 | 0.02° |
小轉到角度 | 0.1° |
采樣點數(可選擇) | 大值:18000 |
水平橫臂 | 徑向直線度單元(RSU) | 機動徑向臂(MRA) |
(1)橫臂材料: | 陶瓷 | 鋁 |
(2)行程 | 200mm | 200mm |
(3)全程直線度誤差: | 0.25μm/200mm | 不適用 |
(4)任意行程的直線度誤差 | 0.125μm+0.000625μm/mm | 不適用 |
(5)對主軸的垂直度: | 1μm/200mm | 不適用. |
(6)移動速度: | 0.25-15mm/秒(移動) | 0.25-15mm/秒(移動) |
0.25-15mm/秒(測量) | 不適用 | |
0.5-5mm/秒(接觸) | 0.5-5mm/秒(接觸) | |
(7)過中心的行程 | 25mm | 25mm |
(8)位置控制: | ±5μm | +5μm |
(9)徑向測量: | 0.05um/mm + 1.5um | 0.05μm/mm + 1.5μm |
(10)位定位分辨率: | 0.25μm | 0.25μm |
(11) *小移動量: | 0.05mm | 0.05mm |
(12)采樣數據點: | *多20000(可選) | 不適用 |
調心和調平軸 | 全自動式 | 手動式 |
結構 | 已經獲得**的三點彈性支撐技術 | 已經獲得**的三點彈性支撐技術 |
調平和調心臺控制 | 主軸連續轉動 | 手動 |
調心和調平自動模式 | Yes | N/A |
調心范圍 | ±5mm | ±1mm |
調平范圍 | ±0.5° | ±0.25° |
工作臺以上的中性面高度 | N/A | 20mm |
自動調心的可實現精度 | <0.8 | N/A |
自動調平的可實現精度 | <0.8arc secs | N/A |
工作臺直徑 | 300mm | 190mm |
測頭定位和測頭(手動方式) | 氣源 | ||
姿勢 | 水平或豎直 | 氣源壓力 | 5.5-10.3bar |
豎直定位 | 延伸/收縮 | 穩壓器 | 3.5bar |
水平定位 | 上升/下降/延伸/收縮 | 氣體顆粒多尺寸 | 5micron |
測頭類型 | Talymin 5 | 露點 | -20℃ |
額定量程 | ±1mm | 操作時的氣流量 | 150liters/minutes |
額定分辨率 | 0.03μm | 壓力 | 5.3ft3/minute |
測頭接觸力 | 0-15g可調 | 大油量 | 25mg/m3 |
支撐角度 | 可調 | 固體顆粒 | 5mg/m3 |